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真空微电子荧光平板显示器件的实验研究
引用本文:
李志能,刘杰明.真空微电子荧光平板显示器件的实验研究[J].真空科学与技术,1996,16(4):292-295.
作者姓名:
李志能
刘杰明
摘 要:
描述了真空微电子荧光平板显示器件的工作原理,提出了采用反应离子刻蚀法制作大规模场致发射阵列的工艺,在动态真空系统中测定了荧光平板显示器件的场发射特性,并获得了结果。
关 键 词:
真空微电子学
荧光平板显示器
显示器件
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