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双拖动分子泵
引用本文:储继国.双拖动分子泵[J].真空科学与技术,1996,16(2):117-120.
作者姓名:储继国
摘    要:介绍一种新颖拖动分子泵,其抽速达到传统拖动分子泵的30倍左右,达到了涡轮分子泵的水平。该泵高压强(1-100Pa)性能明显优于涡轮分子泵。泵的结构则简单得多。

关 键 词:分子泵  抽速  高压强  真空泵
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