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| 工艺参数对纳米颗粒Cu／SiO2复合薄膜结构和光谱特性的影响 | |
| 引用本文： | 李强勇,黄良甫.工艺参数对纳米颗粒Cu／SiO2复合薄膜结构和光谱特性的影响[J].真空科学与技术,1996,16(4):270-276. |
| 作者姓名： | 李强勇 黄良甫 |
| 摘 要： | 用离子束溅射法制备了具有反常光吸收特性的纳米颗粒Ｃｕ／ＳｉＯ２复合薄膜，获得了在离子束参数一定时，基片温度、膜料的沉积时间和镀膜后的保温时间等工艺参数对这种薄膜结构和光学特性的影响规律，并对纳米颗粒Ｃｕ／ＳｉＯ２复合薄膜的反常光吸收特性作了计算和解释。 |
| 关 键 词： | 纳米颗粒 薄膜 光学特性 铜／氧化硅 |
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