氮化铁梯度薄膜的制备和磁性研究 |
| |
作者姓名: | 林川 孙多春 |
| |
作者单位: | [1]天津大学应用物理学系 [2]清华大学材料科学与工程系 |
| |
摘 要: | 用对向靶溅射方法制行出氮化铁梯度薄膜。利用X射线光电子能谱(XPS)对样品进行了深度剖面分析,铁原子和氮原子的百分含量沿膜厚方向呈梯度变化。X射线衍射表明膜中含有α=Fe,-Fe16N2,ε-FexN(2〈x≤3)和δ-Fe2N各相。随着氮分压增加,膜中含氮量高的相比例亦增加,饱和磁通密度逐渐降低。
|
关 键 词: | 对向靶溅射 氮化铁 薄膜 梯度薄膜 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|