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| Pt扩散阻挡层对PZT／Si薄膜化学结构和性能的影响 | |
| 引用本文： | 朱永法,阎培渝.Pt扩散阻挡层对PZT／Si薄膜化学结构和性能的影响[J].真空科学与技术,1996,16(1):23-28. |
| 作者姓名： | 朱永法 阎培渝 |
| 作者单位： | [1]清华大学化学系 [2]清华大学材料科学与工程系 |
| 摘 要： | 运用ＸＰＳ和ＡＥＳ研究了Ｐｔ扩散阻挡层对ＰＺＴ薄膜／Ｓｉ界面休学结构和性能的影响：在ＰＺＴ薄膜和Ｓｉ工间增加Ｐｔ扩散阻挡层，可以抑制ＴｉＣｘ物种和ＴｉＳｉｘ物种的形成，促进ＰＺＴ薄膜的形成反应。Ｐｔ扩散阻挡层的存在阻断了氧和Ｓｉ的相互扩散反应，促进ＰＺＴ物种形成钙钛矿型晶体结构，使得形成的ＰＴ薄膜具有和体相材料相摈 电常数和铁电性能。 |
| 关 键 词： | 锆钛酸铅 薄膜 扩散阻挡层 界面反应 铁电体 |
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