| 实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响 |
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| 引用本文： | 曾飞,高阳,樊宇伟,潘峰.实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响[J].真空科学与技术学报,2004,24(Z1):17-19. |
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| 作者姓名： | 曾飞 高阳 樊宇伟 潘峰 |
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| 作者单位： | 曾飞（清华大学材料系先进材料教育部重点实验室,清华大学材料与工程系,北京,100084）
高阳（清华大学材料系先进材料教育部重点实验室,清华大学材料与工程系,北京,100084）
樊宇伟（清华大学材料系先进材料教育部重点实验室,清华大学材料与工程系,北京,100084）
潘峰（清华大学材料系先进材料教育部重点实验室,清华大学材料与工程系,北京,100084） |
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| 摘 要： | 从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度为45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化.斜离子束在制备过程中起到了混合效应和沟道效应的作用.
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| 关 键 词： | Co-Cu合金薄 膜离子束辅助沉积 入射角度 织构 易磁化 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)增-017-03 |
Influence of Ion Incident Angle on Microstructures and Magnetic Anisotropy of Co-Cu Alloy Films |
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