| 水热法制备锡掺杂氧化钛薄膜工艺因素研究 |
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| 引用本文： | 丁常胜 苗鸿雁 罗宏杰 王秀峰. 水热法制备锡掺杂氧化钛薄膜工艺因素研究[J]. 真空科学与技术学报, 2004, 24(Z1): 82-85 |
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| 作者姓名： | 丁常胜 苗鸿雁 罗宏杰 王秀峰 |
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| 作者单位： | 丁常胜（陕西科技大学材料科学与工程学院,咸阳,712081） 苗鸿雁（陕西科技大学材料科学与工程学院,咸阳,712081） 罗宏杰（陕西科技大学材料科学与工程学院,咸阳,712081） 王秀峰（陕西科技大学材料科学与工程学院,咸阳,712081） |
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| 摘 要： | 以Ti(SO4)2为前驱物,尿素为沉淀剂,SnCl4为掺杂剂,采用水热法制备出Sn-TiO2薄膜.利用XRD、SEM和UV-VIS等测试手段对薄膜的物相、表面形貌和吸光性等进行了表征.研究了Ti(SO4)2的浓度、SnCl4的掺入量、水热反应温度和保温时间对制备Sn-TiO2薄膜的影响.结果表明,在一定工艺条件下,可制备出均匀、致密,无可视缺陷,厚度约160 nm的Sn-TiO2薄膜.
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| 关 键 词： | 掺锡二氧化钛 薄膜 水热法 工艺因素 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)增-082-04 |
Hydrothermal Growth of Sn-Doped TiO2 Film |
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