| 新型光敏聚酰亚胺微型阀 |
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| 引用本文： | 王晓浩,周兆英,张文栋,吕苗,崔占东,赵彦军,赵彤.新型光敏聚酰亚胺微型阀[J].微纳电子技术,1998(3). |
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| 作者姓名： | 王晓浩 周兆英 张文栋 吕苗 崔占东 赵彦军 赵彤 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系微机械研究室，电子工业部第十三研究所 |
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| 摘 要： | 微型阀是微流体测量系统的重要组成部分，本文提出了一种微型光敏聚酰亚胺被动阀，分析了该材料性能，叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程，并讨论了加工过程中的一些关键技术。
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| 关 键 词： | 微型阀 光敏聚酰亚胺 |
A Novel PSPI Microvalve |
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| Wang Xiaohao,Zhou Zhaoying,Zhang Wendong.A Novel PSPI Microvalve[J].Micronanoelectronic Technology,1998(3). |
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| Authors: | Wang Xiaohao Zhou Zhaoying Zhang Wendong |
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| Abstract: | Microvalve is a key element of micro flow control system.This paper presents a novel passive microvalve which is made of a material——photosensitive polyimide(PSPI).The features of PSPI are analyzed,structure design and fabrication processes of PSPI microvalve are described and some key technical problems in fabrication are discussed. |
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| Keywords: | Microvalve Photosensitive polyimide |
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