| GexSi1—x／Si脊形波导Mach—Zehnder干涉型调制器的优化分析与设计 |
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| 引用本文： | 万建军,李国正.GexSi1—x／Si脊形波导Mach—Zehnder干涉型调制器的优化分析与设计[J].光电子．激光,1998,9(1):12-15. |
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| 作者姓名： | 万建军 李国正 |
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| 作者单位： | 西安交通大学微电子工程系 |
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| 摘 要： | 在研制成功ＧｅＳｉ合金单模脊形波导事，进一步用这种波导研制Ｍａｃｈ－Ｚｅｈｎｄｅｒ调制器。文中对调制器设计中的三个步骤进行了优化，分析并且讨论了结构不对称性和有源区载流子吸收效应的影响，为研制工作奠定了基础。
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| 关 键 词： | 调制器 等离子色散效应 光波导 干涉型 |
Analysis and Optimal Design of Ge xSi 1-x /Si RIB Waveguide Mach Zehnder Interferometer based on Plasma Dispersion Effect |
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| Wan,Jianjun,Li,Guozheng,Liu,Enke.Analysis and Optimal Design of Ge xSi 1-x /Si RIB Waveguide Mach Zehnder Interferometer based on Plasma Dispersion Effect[J].Journal of Optoelectronics·laser,1998,9(1):12-15. |
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| Authors: | Wan Jianjun Li Guozheng Liu Enke |
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| Abstract: | The three steps of design of GeSi/Si rib waveguide Mach Zehnder interferometic modulator based on plasma dispersion effect are discussed and optimized.The structural nonsymmetry and the absorbsion of the injectional carriers in the active area are also discussed. |
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| Keywords: | GeSi Mach Zehnder Interferometer Plasma dispersion effect |
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