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| 微透镜和高Tc超导红外探测器组件 | |
| 作者姓名： | 张新宇 易新建 |
| 作者单位： | 华中理工大学光电子工程系，航天部二院２５所 |
| 摘 要： | 本文首次报道了利用微透镜阵列来提高ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的光响应特性，介绍了利用光刻／离子束刻蚀的方法制作单片线列石英微透阵列的工艺以及制备线列ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的方法，并将所制的石英微透镜阵列应用于ＹＢＣＯ超导器件。 |
| 关 键 词： | 石英微透镜 YBCO 红外探测器 超导器件 结构 |
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