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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
微透镜和高Tc超导红外探测器组件
作者姓名:
张新宇 易新建
作者单位:
华中理工大学光电子工程系,航天部二院25所
摘 要:
本文首次报道了利用微透镜阵列来提高YBCO高Tc超导薄膜红外探测器的光响应特性,介绍了利用光刻/离子束刻蚀的方法制作单片线列石英微透阵列的工艺以及制备线列YBCO高Tc超导薄膜红外探测器的方法,并将所制的石英微透镜阵列应用于YBCO超导器件。
关 键 词:
石英微透镜 YBCO 红外探测器 超导器件 结构
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