| 单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器的研究 |
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| 引用本文： | 简泽明,陈尚,张国军,刘梦然,许娇,张文栋.单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器的研究[J].传感器与微系统,2015,34(1):9-12,16. |
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| 作者姓名： | 简泽明 陈尚 张国军 刘梦然 许娇 张文栋 |
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| 作者单位： | 1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051;2. 中国运载火箭技术研究院研究发展中心,北京,100076 |
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| 基金项目： | 国家“863”计划资助项目，国家自然科学基金资助项目，山西省青年科技研究基金资助项目 |
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| 摘 要： | 针对当前对MEMS矢量水听器高可靠性迫切要求,设计了2×2单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器,以保证其中一个敏感微结构失效损坏或工作不正常时,水听器仍能正常工作.结合ANSYS软件对阵列敏感微结构进行了仿真分析;设计了该微结构的加工工艺流程;最后,对阵列式MEMS矢量水听器进行水声校准测试.测试结果表明:阵列式水听器可靠性明显提高,灵敏度达到-179 dB(0 dB =1V/μPa),具有良好的“8”字指向性.
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| 关 键 词： | 阵列式MEMS矢量水听器 可靠性 灵敏度 指向性 |
Research of array MEMS vector hydrophone with four units on a chip |
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| JIAN Ze-ming
,
CHEN Shang
,
ZHANG Guo-jun
,
LIU Meng-ran
,
XU Jiao
,
ZHANG Wen-dong.Research of array MEMS vector hydrophone with four units on a chip[J].Transducer and Microsystem Technology,2015,34(1):9-12,16. |
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| Authors: | JIAN Ze-ming CHEN Shang ZHANG Guo-jun LIU Meng-ran XU Jiao ZHANG Wen-dong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | array MEMS vector hydrophone reliability sensitivity directivity |
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