铝硅铜合金和铝铜合金多层结构的电迁移行为

本文给出了由同一工艺线上加工的铝硅和铝硅铜金属互连线的电迁移加速寿命试验结果，后者寿命比前者要高一个数量级，我们对此作了简要的说明，并介绍了铝铜多层结构互连的的民迁移性能。