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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
Φ200 mm CZSi复合式热场的数值模拟研究
作者姓名:
任丙彦
李洪源
张燕
张兵
郭贝
作者单位:
河北工业大学材料学院,天津,300130
摘 要:
对国产TDR-80型单晶炉的复合式热场系统进行了优化设计, 建立了不同条件下的理论模型, 采用有限元数值模拟的方法分析了主加热器的延伸率、埚径比和熔体高度变化对直拉硅单晶生长中的温度梯度和热流密度分布的影响, 为提高晶体生长速率和质量提供了必要的理论依据.
关 键 词:
CZSi
热场
有限元
双加热器
热对流
CZSi
复合式
热场
数值模拟
模拟研究
Thermal Field
Composite
Simulation
Numerical
理论模型
质量
晶体生长速率
影响
热流密度分布
温度梯度
单晶生长
直拉硅
高度变化
熔体
径比
文章编号:
0258-7076(2008)02-0161-04
修稿时间:
2007-08-15
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