| 纯位相片光学互连实验研究 |
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| 引用本文： | 张静娟 高士平. 纯位相片光学互连实验研究[J]. 光电子．激光, 1992, 3(5): 272-277 |
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| 作者姓名： | 张静娟 高士平 |
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| 作者单位： | 中国科技大学研究生院(张静娟，许超)，中国科学院微电子研究中心(高士平)，中国科学院微电子研究中心(平) |
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| 摘 要： | 本文给出一维互连系统中纯位相片计算结果,介绍用反应离子刻蚀制备纯位相片的方法以及用此位相片进行一维互连的实验结果。实验结果与理论计算相符。
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| 关 键 词： | 光学互连 纯位相片 反应离子刻蚀 |
Experimente of Optical Interconnection with Phase Masks |
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| Zhang Jingiuan,Xu chao. Experimente of Optical Interconnection with Phase Masks[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 1992, 3(5): 272-277 |
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| Authors: | Zhang Jingiuan Xu chao |
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| Abstract: | The calculation result in one dimensional interconnection system is proposed in this paper. The method of preparing phase masks with ion-etching is introduced. The above masks are applied to one dimensional interconnection experiment. The experimental results are consistent with the theory. |
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| Keywords: | optical interconnection phase-only masks ion-etching. |
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