|
|||||
|
|
| 离子束增强沉积氮化硅薄膜的超显微硬度 | |
| 作者姓名： | 周平南 王建锋 |
| 作者单位： | 上海交通大学 200030 |
| 基金项目： | 国家“八六三”计划资助项目,课题代号:863-715-23-06-02 |
| 摘 要： | 利用测试负荷小于１０＾－１Ｎ的ＵＭＨＴ－３型超显微度测量仪，测试了不厚度的离子束增强沉积氮化硅薄膜的硬度。详细了薄膜和其底对在工测试的影响，并提出了临界负荷的概念，只有当测试负荷小于监界负荷时，才能获得薄膜的真空硬度。对三种不同厚度的氮化硅薄膜，给出了相应的监界负荷值。 |
| 关 键 词： | 超显微硬度 氮化硅 薄膜 离子束增强 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |