半导体应变片和半导体应变片式传感器 |
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作者姓名: | 巫昊 虞承端 杨霖生 |
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作者单位: | 安徽无线电研究所(巫昊,虞承端),安徽无线电研究所(杨霖生) |
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摘 要: | 引言随着科学技术的发展,电子技术和自动化技术正迅速地应用到各个领域中去,例如自动检测、自动控制、自动跟踪、遥测遥控,直至各种人工智能装置等。在这些过程中,如果被检测或被控制的量不是电量,那末都存在一个将非电量转换成电量的问题。这就必须通过转换元件和传感器来进行这种转换。因而,转换元件和传感器的重要性是不言而喻的。作为一种转换元件的半导体应变片,用在传感器上,可将多种机械量如速度、加速度、位移、转矩等
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