| 硅基微机械微波传输线特性阻抗的数值分析 |
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| 引用本文： | 石艳玲,游淑珍,董兴其,赖宗声. 硅基微机械微波传输线特性阻抗的数值分析[J]. 固体电子学研究与进展, 2001, 21(2): 192-196 |
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| 作者姓名： | 石艳玲 游淑珍 董兴其 赖宗声 |
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| 作者单位： | 华东师范大学电子科学技术系, |
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| 基金项目： | 国家 973项目!《集成微光机电系统研究》，国家自然科学基金项目!《微机械微波微型元件与电路研究》，上海应用材料研究与发展基金项目 |
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| 摘 要： | 在相似剖分有限元方法的基础上 ,结合硅基微波共平面传输线的特点 ,采用混合相似剖分技术 ,对这种长度为毫米级的悬浮传输线的特性阻抗进行了数值分析 ,主要讨论了刻蚀工艺的变化对其特性阻抗的影响。
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| 关 键 词： | 共平面传输线 特性阻抗 微机械工艺技术 有限元方法 |
| 文章编号： | 1000-3819(2001)02-0192-05 |
| 修稿时间： | 2000-07-19 |
Numerical Analysis of the Characteristic Impedance of Micromachined Microwave Transmission Lines |
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| Abstract: | A new similarity method in FEM is presented for researching of micromachined microwave coplanar waveguide, which can be fabricated through a commercial CMOS process. By using this new method, we calculate the characteristic impedance of this kind of suspended waveguide and analyze the change with its dimensions.From the result,we especially discuss the effect of the etching procedure on the characteristic impedance. |
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| Keywords: | coplanar transmission line characteristic impedance micromachined process FEM method |
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