切削刀具PVD涂层技术的研究与发展

PVD涂层技术较之CVD具有显著优点,成为新型刀具涂层的主流技术之一。低温沉积最有效的磁控溅射方法,沉积速率高,工作气压低,镀膜质量高,工艺稳定,便于大规模工业生产,在切削刀具涂层应用中发展迅速。切削加工技术发展对刀具涂层硬度耐磨性抗氧化性与基体结合强度等综合机械性能的要求不断提高,超硬多元和多层等新型涂层得到开发,尤其是基于低温PVD沉积技术的纳米复合涂层正在成为研究热点,并显示出良好的发展前景。