8~12μm红外图像生成装置 |
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作者姓名: | 王宏杰 钱丽勋 李 卓 王 欣 王栩凌 |
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作者单位: | 北京理工大学光电学院,中国电子科技集团公司第十三研究所第十六专业部,北京理工大学光电学院,北京理工大学光电学院,北京空间机电研究所 |
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基金项目: | 国家自然科学基金项目资助 |
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摘 要: | 介绍了一种将可见光图像转换为红外图像的装置.装置的核心器件是利用MEMS工艺制作的可见光/红外图像转换芯片.红外图像生成装置包括可见光图像生成系统、可见光/红外图像转换系统以及红外图像投影光学系统三部分.红外图像生成装置产生的红外图像辐射波段覆盖8~12μm,分辨率达到了20 lp/mm,可模拟温度范围为20~150℃,图像非均匀性小于5%,几何畸变小于3%.
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关 键 词: | 红外图像生成技术 半实物仿真 光学微电子机械加工器件 |
收稿时间: | 2016-07-05 |
修稿时间: | 2016-10-20 |
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