| 石英半球型微谐振器的仿真与加工 |
| |
| 引用本文： | 邢亚亮,张卫平,唐健,孙殿竣,刘朝阳,欧彬.石英半球型微谐振器的仿真与加工[J].压电与声光,2017,39(4):553-556. |
| |
| 作者姓名： | 邢亚亮 张卫平 唐健 孙殿竣 刘朝阳 欧彬 |
| |
| 作者单位： | （上海交通大学 微纳电子学系 微米/纳米加工技术重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海 200240） |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61574093);航空基金资助项目(2013ZC57003) |
| |
| 摘 要： | 该文对石英半球型微谐振器进行了模态仿真,分析了前十阶振型及适合陀螺工作的模态,讨论了谐振器壁厚变化对四波腹模态谐振频率的影响。利用吹玻璃法和湿法腐蚀制作了石英半球型微谐振器,跟踪不同的腐蚀速率得出湿法腐蚀可精确控制壁厚的结论。测试腐蚀后的谐振器表面粗糙度仅为0.581nm,保留了原子级别的光滑度。
|
| 关 键 词： | 石英半球型微谐振器 半球谐振陀螺 模态分析 湿法腐蚀 |
Simulation and Fabrication of Micro Silica Hemispherical Resonator |
| |
| XING Yaliang,ZHANG Weiping,TANG Jian,SUN Dianjun,LIU Zhaoyang,OU Bin.Simulation and Fabrication of Micro Silica Hemispherical Resonator[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2017,39(4):553-556. |
| |
| Authors: | XING Yaliang ZHANG Weiping TANG Jian SUN Dianjun LIU Zhaoyang OU Bin |
| |
| Affiliation: | (National Key Lab. of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication,Key Laboratory for Thin Film and Micro Fabrication of the Ministry of Education, Department of Micro Nano Electronics,School of Electronic Information and Electrical Engineering,Shanghai Jiaotong University,Shanghai 200240,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | micro silica hemispherical resonator hemispherical resonator gyro mode analysis wet etching |
|
| 点击此处可从《压电与声光》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《压电与声光》下载全文 |
|
