一个用单管单元做成的4096单元MOS存储器件 |
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作者姓名: | H.Heiβing RMitterer 沈士芳 |
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摘 要: | 前言由于MOS器件比双极器件包含较少的制造步骤,因而用它们来做成廉价的大容量存储器是很实际的[1]。大规模集成MOS存储器(表1)的迅速发展开始于1970年的256单元的MOS器件[2]。其后转为用电容作为存储数据的动态单元[3]以及制造工艺的改进使增加组装密度成为可能。动态的1024单元的器件已经组成UNIDATA及其它形式的计算机中的标准硬件。我们为未来的存储器[4]已研制成二个4096单元N沟道硅栅工艺的MOS器件
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