| 蚀刻深度传感器耦合问题的研究 |
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| 引用本文： | 赵光兴,杨国光.蚀刻深度传感器耦合问题的研究[J].仪表技术与传感器,1998(12):8-10. |
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| 作者姓名： | 赵光兴 杨国光 |
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| 作者单位： | [1]华东冶金学院自动化系 [2]浙江大学光科系 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,安徽省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 对离子束蚀刻深度传感器敏感元件与传感器元件间的耦合问题进行了探讨。表明敏感元件 对蚀刻深度的测量结果有较大的影响。给出了振动误差的抑制措施。
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| 关 键 词： | 传感器 耦合 蚀刻 微光学元件 蚀刻深度 |
The Study of Coupling Problem on Etching depth Sensor |
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| Zhao Guangxing,Hong Caiyun East China Institute of Metallurgy,Maanshan Anhui, Yang Guoguang,Chen Hongqiu Zhejiang University,Hangzhou.The Study of Coupling Problem on Etching depth Sensor[J].Instrument Technique and Sensor,1998(12):8-10. |
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| Authors: | Zhao Guangxing Hong Caiyun East China Institute of Metallurgy Maanshan Anhui Yang Guoguang Chen Hongqiu Zhejiang University Hangzhou |
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| Affiliation: | Zhao Guangxing,Hong Caiyun East China Institute of Metallurgy,Maanshan Anhui,243002 Yang Guoguang,Chen Hongqiu Zhejiang University,Hangzhou 310027 |
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| Abstract: | The coupling problem between sensitive element and sensing element in etching depth sensor is discussed. It shows that the measurement result of etching depth is quite influenced by the vibration of sensitive element. The removing method on the vibration error is given. |
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| Keywords: | Sensor Coupling Etching |
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