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作者姓名:杜宗潆  邓隐北
摘    要:微型控制工作台美国Steinmeyer公司研制的轻型MT105-50-LM微型控制工作台适用于半导体计量学、生物医学、小型机器人和激光工业。该工作台面积为105 mm×151 mm,厚25 mm,质量仅1.0 kg;工作台行程50 mm,位置精度1μm,直线/平面偏差±1μm,复位精度±0.2μm。它采用高强度阳极电镀铝结构,工作台配置了预负载十字头滚珠轴承,固定挡销和分辨能力为0.1μm的增量线性编码器。它可用于无需连接板的XY工作台或成为一个可任意选择的XYZ系统。

关 键 词:工作台面  直线电动机  微型控制  编码器  滚珠轴承  小型机器人  半导体  计量学  工作台行程  生物医学
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