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| 超纯气体中微量氧的连续在线分析仪 | |
| 作者姓名： | 邱长春 |
| 作者单位： | 中国科学院大连化学物理研究所，中国科学院大连化学物理研究所，中国科学院大连化学物理研究所，中国科学院大连化学物理研究所，中国科学院大连化学物理研究所 大连 116012，大连 116012，大连 116012，大连 116012，大连 116012 |
| 摘 要： | DL—401微量氧分析仪吸收了国内外测氧仪的优点,对传统的测氧仪作了重要改进,解决了材料及部件的渗漏问题,实现了超纯气体中微量氧的连续在线检测。 |
| 关 键 词： | 特种气体 氧 测量 |
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