| 金刚石薄膜在硬质合金表面的沉积与结合强度 |
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| 引用本文： | 李成明 吕反修. 金刚石薄膜在硬质合金表面的沉积与结合强度[J]. 材料科学与工艺, 1997, 5(1): 53-55 |
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| 作者姓名： | 李成明 吕反修 |
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| 作者单位： | [1]太原工业大学表面工程研究所 [2]北京科技大学材料系 |
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| 摘 要： | 研究了准分子激光辐射ＷＣ－６Ｗ＋％Ｃｏ（ＹＧ６）硬质合金工具衬底产生的选择性蒸发和表面改性作用，ＹＧ６表面的钴含量被有效地降低。研究了在硬质合金ＹＧ６工具衬底沉积金刚石薄膜的良好工艺参数范围，由于钴的存在和迁移，沉积金刚石薄膜的温度和甲烷浓度范围变窄。
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| 关 键 词： | 硬质合金 选择性蒸发 金刚石薄膜 结合强度 |
Deposition and Adhesive Force of Diamond Films on Hard Alloy |
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| Li Chengming Wang Jianming Xu Zhong Lu Fanxiu. Deposition and Adhesive Force of Diamond Films on Hard Alloy[J]. Materials Science and Technology, 1997, 5(1): 53-55 |
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| Authors: | Li Chengming Wang Jianming Xu Zhong Lu Fanxiu |
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| Affiliation: | Li Chengming Wang Jianming Xu Zhong Lu Fanxiu (Taiyuan University of Technology) (Beijing University of Science and Technology) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hard alloy selective evaporation diamond film |
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