| InGaAsP／InP单片集成波长解复用器件 |
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| 引用本文： | 赵春华 杨易. InGaAsP／InP单片集成波长解复用器件[J]. 半导体光电, 1998, 19(1): 44-47 |
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| 作者姓名： | 赵春华 杨易 |
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| 作者单位： | 浙江大学，中科院上海冶金所，中科院半导体所 |
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| 摘 要： | 报道了基于二维凹面光栅的单片集成波长解复用器件，器件刻蚀在ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ平板波导上，通过凹面光栅的色散作用实现不同波长光的分离，光的输入输出耦合由波阵列来完成，器件的工作波长在１．５μｍ附近，通道间隔约４．３ｎｍ。本文给出了器件的设计方法，制作工艺和初步测试结果。
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| 关 键 词： | 集成光学器件 凹面光栅 罗兰圆 波分复用 |
InGaAsP/InP monolithic wavelength demultiplexer |
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| ZHAO Chunhua ZHU Zuhua CHEN Kangsheng. InGaAsP/InP monolithic wavelength demultiplexer[J]. Semiconductor Optoelectronics, 1998, 19(1): 44-47 |
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| Authors: | ZHAO Chunhua ZHU Zuhua CHEN Kangsheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | OEIC Devics Concave Grating Rowland Circle Wavelength Division Multiplexing |
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