| 串联分子泵获得10-9 Pa真空的实验研究 |
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| 引用本文： | 蔡晓红,杨晓天,曹柱荣,张军辉,卢荣春,杨威,郝斌干. 串联分子泵获得10-9 Pa真空的实验研究[J]. 真空, 2003, 0(4): 42-44 |
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| 作者姓名： | 蔡晓红 杨晓天 曹柱荣 张军辉 卢荣春 杨威 郝斌干 |
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| 作者单位： | 中国科学院近代物理研究所,甘肃,兰州,730000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点课题资助 (10 1340 10 )。 |
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| 摘 要： | 介绍了采用两级分子泵串联系统获得10^-9Pa真空度的实验研究。实验证明，通过串联一台分子泵，可以有效地提高系统对氢气的压缩比，显著提高系统的极限压强。
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| 关 键 词： | 串联分子泵 真空获得 氢气 极限压强 超高真空系统 |
| 文章编号： | 1002-0322(2003)04-0042-03 |
| 修稿时间： | 2003-03-28 |
Reaching the pressure of 10-9 Pa using two serial turbomolecular pumps |
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| CAI Xiao-hong,YANG Xiao-tian,CAO Zhu-rong,ZHANG Jun-hui,LU Rong-chun,YANG Wei and HAO Bin-gan. Reaching the pressure of 10-9 Pa using two serial turbomolecular pumps[J]. Vacuum(China), 2003, 0(4): 42-44 |
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| Authors: | CAI Xiao-hong YANG Xiao-tian CAO Zhu-rong ZHANG Jun-hui LU Rong-chun YANG Wei HAO Bin-gan |
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| Abstract: | The vacuum system reaches the pressure of 10 -9 Pa by using two serial turbomolecular pumps. It is proved by experiment that the backing pump increases the compression ratio of H 2 and obtains the lower ultimate pressure of the system considerably. |
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| Keywords: | vacuum acquirement turbomolecular pump ultimate pressure |
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