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keV低能束作用下固体BSEs角分布
引用本文:谭震宇,何延才.keV低能束作用下固体BSEs角分布[J].山东大学学报(工学版),2000,30(1):25-32.
作者姓名:谭震宇  何延才
作者单位:1. 山东工业大学电力工程学院,济南,250061
2. 中国科学院上海硅酸盐研究所,200050
基金项目:国家自然科学基金资助项目
摘    要:应用蒙特卡罗方法,对不同能量低能电子作用下元素固体Al,Cu,Ag,Au的背散射电子角分布及其与其他分布的关系作了模拟.计算分析了背散射电子角分布随能量及原予序数的变化,不同出射角区背散射电子在固体中发射深度分布,能谱及表面空间分布.结果表明背散射电子角分布随能量降低偏离余弦分布时发射规律的变化,小出射角区背散射电子强度增大主要来自样品浅表层大角度背散射产生的低能损背散射电子增加,且具有较好表面空间分辨率.

关 键 词:蒙特卡罗法  电子束  空间分布  角分布
修稿时间:1999-09-18

ANGULAR DISTRIBUTION ON BSEs IN SOLIDS BY THE ACTION OF keV LOW ENERGY BEAM
Tan Zhenyu,He Yancai.ANGULAR DISTRIBUTION ON BSEs IN SOLIDS BY THE ACTION OF keV LOW ENERGY BEAM[J].Journal of Shandong University of Technology,2000,30(1):25-32.
Authors:Tan Zhenyu  He Yancai
Affiliation:Tan Zhenyu ,He Yancai ;(Coll. of Electric Power, Shandong Univ. Of Tech., Jinan 250061)
Abstract:
Keywords:Monte-Carlo method  Electron beams  Space distribution  Angular distribution
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