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| 透射电镜样品台移动的自动化设计 | |
| 引用本文： | 张兴堂,万绍明,孙成风,党智强,蒋晓红,郭新勇.透射电镜样品台移动的自动化设计[J].电子显微学报,2004,23(4):485-485. |
| 作者姓名： | 张兴堂 万绍明 孙成风 党智强 蒋晓红 郭新勇 |
| 作者单位： | 河南大学特种功能材料重点实验室,河南,开封,475001 |
| 摘 要： | 随着自动化技术的迅速发展，现代的透射电子显微镜技术也步入了自动化或数字化时代。除了成像部分，真空系统等提高了电路的集成度以外，机械运动部分的自动化程度也大幅度提高。但是，目前在国内尚有一批20世纪末期以前的电镜产品，还处于手动或半自动化状态，且仍在发挥着重要作用。如JEM-100CX、JEM-200FX、HT-800等。我们针对 |
| 关 键 词： | 透射电子显微镜 样品台移动 自动化设计 电路设计 |
Automatic control of a TEM specimen stage |
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