超薄砂轮高速精密切割磨削影响因素系统分析

超薄砂轮切割磨削是电子元器件精密切割的主流技术。该文基于切削磨削加工原理,分别从超薄砂轮切割磨削特点、硬脆材料切割磨削机理、精密切割磨削工艺、加工系统受力、超薄砂轮特性及使用性能等多个方面进行了分析,并着重分析了超薄砂轮切割磨削环境、砂轮刚性、对称性、轴向磨削力等对磨削精度及质量的影响,对提高超薄砂轮切割磨削技术应用具有指导意义。