硅片清洗技术:刷洗机和高压洗涤机

硅片洗涤在当今的集成电路生产技术中是非常重要的一个环节。但是,要想有效地使用硅片洗涤机,就必须掌握洗涤的基础知识以及市售洗涤装置之间的不同之处。