低阈值电流高效率的面发射GaInAsP/InP激光器

通过单片集成45°(抛物)镜面,将激光器的光输出偏转到与衬底表面垂直的方向,研制成一种掩埋的异质结构激光器。利用质量输运现象,用化学腐蚀修平多台阶结构制作了该镜面。这些器件的阈值电流低至12mA,微分量子效率高达47％;具有一个波瓣的面发射远场图形展角窄至12°。