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氮化硅陶瓷表面DLC膜的高温摩擦学性能
引用本文:卓会丹,宋宝玉,古 乐.氮化硅陶瓷表面DLC膜的高温摩擦学性能[J].中国表面工程,2011,24(4):47-50.
作者姓名:卓会丹  宋宝玉  古 乐
作者单位:哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001
基金项目:国家自然科学基金(50875058);国家“973”计划(2007CB607602)
摘    要:利用离子注入与沉积工艺在氮化硅陶瓷盘表面制备了厚约500 nm的类金刚石碳膜(DLC膜)。采用有限元模型模拟计算了DLC膜的热应力,分析了不同工作温度下薄膜热应力的大小和分布;利用高温球盘摩擦试验机考察了陶瓷盘表面DLC膜的摩擦磨损特性;将表面沉积DLC膜的氮化硅陶瓷球经历不同温度循环后分别装入满装角接触轴承,测试了轴承的滚动摩擦力矩。试验结果表明:在常温到350℃范围内,氮化硅陶瓷表面的DLC膜可降低滑动摩擦因数和轴承的滚动摩擦力矩值,但随着温度的升高,DLC膜的磨损寿命变短。在经历400℃热循环后,陶瓷表面DLC膜在热应力和机械力的共同作用下起皱、脱落,配副摩擦恢复到未镀膜水平。

关 键 词:滚动摩擦  高温  DLC膜  陶瓷

Friction Characteristics of DLC Films on the Silicon Nitride Ceramic Surfaces at High Temperature Conditions
ZHUO Hui-dan,SONG Bao-yu,GU Le.Friction Characteristics of DLC Films on the Silicon Nitride Ceramic Surfaces at High Temperature Conditions[J].China Surface Engineering,2011,24(4):47-50.
Authors:ZHUO Hui-dan  SONG Bao-yu  GU Le
Affiliation:Department of Mechanical Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001
Abstract:
Keywords:rolling friction torque  high temperature  DLC film  ceramics
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