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Ag—Nd2O3复合介质薄膜的光吸收特性研究
引用本文:刘盛,张琦锋,等.Ag—Nd2O3复合介质薄膜的光吸收特性研究[J].真空科学与技术,2002,22(2):85-88.
作者姓名:刘盛  张琦锋
作者单位:北京大学电子学系,北京100871
摘    要:在真空中用蒸发沉积的方法制备了埋藏有金属Ag纳米微粒的稀土氧化物复合介质薄膜Ag-Nd2O3。通过对这种薄膜的透射电子显微镜观察和光吸收实验研究,发现在相同Nd2O3的薄膜上沉积数量和大小不同的Ag纳米粒子,Ag-Nd2O3复合介质薄膜的光吸收特性随Ag粒子尺寸和体积分数的增大,吸收峰向长波方向转移。而且在光波长310~1200nm区域内,吸收比随Ag粒子尺寸和体积分数的增加而增加,分析表明Nd2O3与Ag粒子之间的相互作用是影响吸收峰位置和吸收比大小的主要原因,Ag粒子的体积分数是导致吸收峰移动的主要因素。

关 键 词:Ag-Nd2O3复合介质薄膜    纳米微粒  氧化钕  光吸收  稀土氧化物薄膜
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