| 微结构气敏传感器敏感薄膜制备方法的研究 |
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| 引用本文： | 李建平,王悦,高晓光.微结构气敏传感器敏感薄膜制备方法的研究[J].真空科学与技术学报,2000,20(3):161-165. |
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| 作者姓名： | 李建平 王悦 高晓光 |
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| 摘 要： | 随着微结构气敏传感器的出现 ,金属氧化物半导体薄膜因具有灵敏度高、热质量小、批量制备一致性好等特点受到日益广泛的重视。本文比较了在微结构气敏传感器中三种方法制备的SnO2 敏感薄膜的结构和气敏响应特性。结果表明 ,用液涎生长和热氧化技术制备的SnO2 薄膜灵敏度高、稳定性好 ,但这种方法与lift off技术不兼容 ;室温直流溅射Sn然后热氧化方法制备的SnO2 薄膜虽然能采用lift off技术成形 ,但由于膜中晶粒结构和Sn/O比不合适使得它的气敏响应特性很差 ;室温混合气氛 (Ar/O2 比为 8∶2 )下射频溅射SnO2 靶然后退火制备的SnO2 薄膜 ,不仅对有机分子十分灵敏 ,而且与微电子工艺相容。室温射频溅射是制备微结构气敏传感器敏感薄膜较理想的方法
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| 关 键 词： | 微结构气敏传感器 二氧化锡薄膜 气敏特性 |
Preparation of Tin Oxide Films for Micro Gas Sensors |
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| Li Jianping,Wang Yue,Gao Xiaoguang,Wang Li,Han Jinghong.Preparation of Tin Oxide Films for Micro Gas Sensors[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2000,20(3):161-165. |
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| Authors: | Li Jianping Wang Yue Gao Xiaoguang Wang Li Han Jinghong |
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| Keywords: | Micro gas sensor SnO 2 thin film Gas sensitivity |
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