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杂志ISSN号
用RF／DC Move Mag法定积的彩色滤光用低电阻率ITO薄膜
摘 要：
关 键 词：
Move
Mag阴极
电阻率
ITO薄膜
彩色滤光材料
DC磁控溅射
淀积
低电阻率ITO薄膜
ARISTO500S
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