| 基于数字微镜的无掩模数字光刻系统的研制 |
| |
| 引用本文： | 陈劲松.基于数字微镜的无掩模数字光刻系统的研制[J].压电与声光,2011,33(6). |
| |
| 作者姓名： | 陈劲松 |
| |
| 作者单位： | 安徽财经大学电子信息工程系,安徽蚌埠,233000 |
| |
| 摘 要： | 研究了一种基于数字微镜的无掩模光刻系统.利用数字微镜输出的高精度数字掩模,结合高质量的高倍精缩投影光学系统,理论上完全可实现亚微米级衍射微光学元件的制作.该文从照明系统、数字微镜芯片、精缩物镜设计等方面进行了系统总体设计.利用该系统成功制作了5×5达曼光栅、8台阶闪耀光栅和8台阶菲涅耳透镜,进一步论证了该系统的可行性.
|
| 关 键 词： | 数字微镜 灰度掩模 数字光刻 |
Research on Non-Mask Digital Lithograph System Based on Digital Micro-mirror Device |
| |
| CHEN Jinsong.Research on Non-Mask Digital Lithograph System Based on Digital Micro-mirror Device[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2011,33(6). |
| |
| Authors: | CHEN Jinsong |
| |
| Affiliation: | CHEN Jinsong(Dept.of Electronic Information Engineering,Anhui University of Finance & Economics,Bengbu 233000,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | digital micro-mirror device gray mask digital lithography |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
