| 铁电薄膜底电极La0.5Sr0.5CoO3的结构及电性能研究 |
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| 引用本文： | 李博,殷明志,蒋迪波.铁电薄膜底电极La0.5Sr0.5CoO3的结构及电性能研究[J].压电与声光,2011,33(6). |
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| 作者姓名： | 李博 殷明志 蒋迪波 |
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| 作者单位： | 西北工业大学理学院应用化学系,陕西西安,710129 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Si衬底上沉积一层La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜底电极,并在不同的退火温度下表征薄膜的各种性质.X线衍射表明在550～750℃退火温度下制备的LSCO薄膜呈(110)取向的钙钛矿结构；谢乐公式估算薄膜的晶粒尺寸为25～50 nm.扫描电子显微镜(SEM)观察结果显示:薄膜表面平整,结构致密.运用四探针法测量薄膜的体电阻,结果表明,750℃退火温度后渗氧处理可获得电阻率较低的La0.5Sr0.5 CoO3薄膜.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜 底电极 结构性能 |
Study on Structure and Electrical Properties of La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3 Bottom Electrodes of Ferroelectric Thin Films |
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| LI Bo
,
YIN Mingzhi
,
JIANG Dibo.Study on Structure and Electrical Properties of La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3 Bottom Electrodes of Ferroelectric Thin Films[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2011,33(6). |
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| Authors: | LI Bo YIN Mingzhi JIANG Dibo |
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| Affiliation: | LI Bo,YIN Mingzhi,JIANG Dibo(Dept.of Applied Chemistry,School of Science,Northwestern Polytechnical University,Xi'an 710129,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sol-Gel process LSCO thin film bottom electrodes structure and properties |
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