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| 超临界流体中沉积制备金属及金属氧化物纳米材料的研究进展 | |
| 引用本文： | 张艳飞,赵斌,杨俊和.超临界流体中沉积制备金属及金属氧化物纳米材料的研究进展[J].电镀与涂饰,2014(4). |
| 作者姓名： | 张艳飞 赵斌 杨俊和 |
| 作者单位： | 上海理工大学能源与动力工程学院;上海理工大学材料科学与工程学院; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(50901086,51072118);教育部留学回国人员科研启动基金 |
| 摘 要： | 综述了超临界流体沉积法(SCFD)在金属及金属氧化物纳米材料制备方面的研究进展,介绍了超临界流体溶解度高、表面张力为零等独特的物理性能,以及可在平坦的、有精细图案的基底表面沉积金属、金属氧化物纳米颗粒或薄膜的技术优势。阐述了超临界流体中纳米颗粒或薄膜的沉积机理,讨论了沉积温度、先驱物浓度、压力、还原剂浓度等因素对沉积速率的影响。展望了超临界流体沉积今后的研究趋势。 |
| 关 键 词： | 超临界流体 二氧化碳 沉积 金属 氧化物 纳米材料 颗粒 薄膜 |
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