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| 用于聚焦微离子束装置的静电透镜系统的设计分析 | |
| 作者姓名： | 朱一心 曹麟刚 |
| 作者单位： | 长沙半导体工艺设备研究所(朱一心)，长沙半导体工艺设备研究所(曹麟刚) |
| 摘 要： | 聚焦微离子束技术是一项有前途的超微细加工技术。聚焦光学系统的设计是该技术的关键之一。本文主要叙述和分析静电双透镜的离子光学特性,探讨采用静电双透镜的离子束聚焦系统的基本性能,在此基础上提出一种适用聚焦离子束装置的五极单电位静电聚焦系统。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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