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| 氯化氢液相取样器 | |
| 引用本文： | 彭淑娟 刘玉rou.氯化氢液相取样器[J].低温与特气,1990(3):48-49. |
| 作者姓名： | 彭淑娟 刘玉rou |
| 作者单位： | 化工部光明化工研究所，化工部光明化工研究所，化工部光明化工研究所 |
| 摘 要： | 前言超大规模集成电路使用的高纯氯化氢,要求分析并控制其液相中N_2、O_2、H_2O、CO_2总烃及金属元素杂质的含量。氯化氢液体在常温下平衡压力为5.2MPa,1ml氯化氢液体气化,体积膨胀约700倍。它在大气中允许的最高浓度为5ppm,所以,为了对氯化氢液相取样,必须有相应的耐压、耐腐蚀、不 |
| 关 键 词： | 氯化氢 液相 取样器 高纯气体 |
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