大功率砷化镓场效应晶体管放大器——一种多栅结构

一种双外延层多栅极的砷化镓场效应晶体管已经研制成功,它在微波频段能够给出大功率放大。单一的多栅器件在4千兆赫下可提供800毫瓦的输出功率。这个器件是用在铬补偿的半绝缘衬底上生长硒掺杂的砷化镓外延层制造的。外延层是连续生长的。起初的一层适中地掺杂到2～4×10~(16)厘米~(-3),以便肖特基势垒栅电极能实现高压击穿。最后的一层是重掺杂,以便能做出低阻的欧姆接触。图1简略地表示出通过源-栅-漏区域的剖视图。器件制造的显著特点是用源和漏的欧姆接触作为腐蚀掩