| 基于闭合磁路的框式薄膜电感的研究 |
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| 引用本文： | 陈赵豪,谢致薇,杨元政,何玉定,陈先朝. 基于闭合磁路的框式薄膜电感的研究[J]. 电子元件与材料, 2015, 0(1): 40-44 |
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| 作者姓名： | 陈赵豪 谢致薇 杨元政 何玉定 陈先朝 |
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| 作者单位： | 广东工业大学 材料与能源学院,广东 广州,510006 |
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| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(No.20124420110007)；广东省联合培养研究生示范基地人才培养项目资助 |
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| 摘 要： | 通过磁控溅射工艺制备出三种框式薄膜电感,其中特殊磁芯电感、全磁膜电感为设计制作的具有闭合磁性回路的特殊薄膜电感,而三文治结构电感是目前流行的薄膜电感,这些电感均由下层磁芯层、下层绝缘层(聚偏二氯乙烯,厚度约为40μm)、线圈和线圈中心的磁膜、上层绝缘层和上层磁芯层组成,其差别在于磁芯结构不同。在1~3 MHz频率范围内,比较了三种电感的等效电感、寄生电容和损耗因子。结果表明:与三文治结构电感和全磁膜电感相比,特殊磁芯电感有较高的等效电感量和较小的寄生电容,但损耗较后两者高。
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| 关 键 词： | 薄膜电感 磁通方向 电感量 闭合磁路 寄生电容 损耗因子 |
Study of frame type thin-film inductor based on closed magnetic circuit |
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| CHEN Zhaohao,XIE Zhiwei,YANG Yuanzheng,HE Yuding,CHEN Xianchao. Study of frame type thin-film inductor based on closed magnetic circuit[J]. Electronic Components & Materials, 2015, 0(1): 40-44 |
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| Authors: | CHEN Zhaohao XIE Zhiwei YANG Yuanzheng HE Yuding CHEN Xianchao |
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| Affiliation: | CHEN Zhaohao;XIE Zhiwei;YANG Yuanzheng;HE Yuding;CHEN Xianchao;Faculty of Material and Energy, Guangdong University of Technology; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thin-film inductor magnetic flux inductance closed magnetic circuit stray capacitance loss factor |
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