电子束机工作台圆柱形气浮导轨的基础试验

本文叙述了电子束曝光机工作台圆柱形气浮导轨的一些基本性能,对圆柱形气浮导轨的承载能力、刚度和角刚度怍了些试验。为了进一步补偿载荷沿轴向偏移时产生偏转力矩的影响,本文提出了开平衡孔的补偿措施,试验表明补偿效果明显。