简谐波运动理论在物体曲面形貌测量中的应用

在物体曲面形貌非接触式测量中，传统的N步相移技术在实施测量时必须采用精密的移相装置，以获得定步长的相移步进值。当存在相移步进偏差时，就不能够准确的解调出相位．针对这种情况，本文在分析简谐波运动的基础上，提出了一种通过点测量的方式提取相移光栅实际相移量方法，同时提出了一种基于非定步长的相移相位恢复算法；实验结果表明：通过该方法获取的相移步长的精度达到纳米级，利用该非定步长算法能够准确的解调出相位，降低了对移相装置的精度要求，大大提高了测量系统的精度和自动化程度。