| 一种洛伦兹力微机械谐振磁传感器建模及数值仿真 |
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| 引用本文： | 刘 恒. 一种洛伦兹力微机械谐振磁传感器建模及数值仿真[J]. 传感技术学报, 2021, 34(6): 756-762. DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2021.06.007 |
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| 作者姓名： | 刘 恒 |
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| 作者单位： | 南京信息工程大学电子与信息工程学院,江苏 南京210044 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划课题(2019YFC1804704),住房城乡建设部科学技术项目计划(2019-K-141)。 |
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| 摘 要： | 针对微机械洛伦兹力谐振磁传感器灵敏度受驱动控制电路和谐振频率漂移影响问题,利用平均周期法分析了鉴相器为异或门的锁相环频率跟踪电路的动力学模型,并求解出频率跟踪的稳定条件和稳态振幅平衡点.设计的磁传感器数值建模及仿真实验表明:当锁相环积分器系数小于临界值时,环路频率跟踪稳定;当锁相环积分器系数大于临界值时,频率跟踪振荡;稳态振幅与理论分析一致,灵敏度与接口电路无关;频率跟踪动态过程与压控振荡器初始频率ω0、积分系数kI、滤波器时间常数ξ有关.
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| 关 键 词： | 磁传感器 锁相环 稳态平衡点 平均周期法 |
Modeling and Numerical Simulation of a Lorentz force Micro-Machined Resonant Magnetic Sensor |
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| LIU Heng,ZHANG Yu,SHU Jinhua,YANG Tianyi. Modeling and Numerical Simulation of a Lorentz force Micro-Machined Resonant Magnetic Sensor[J]. Journal of Transduction Technology, 2021, 34(6): 756-762. DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2021.06.007 |
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| Authors: | LIU Heng ZHANG Yu SHU Jinhua YANG Tianyi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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