| 沉积温度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响 |
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| 引用本文： | 王晶,余花娃. 沉积温度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响[J]. 陕西科技大学学报, 2007, 25(6): 66-68,72 |
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| 作者姓名： | 王晶 余花娃 |
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| 作者单位： | [1]西安工程大学理学院,陕西西安710048 [2]西北大学物理系,陕西西安710069 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 采用RF磁控溅射法，在单晶硅衬底上生长出高质量的（002）晶面取向的ZnO薄膜．利用X射线衍射分析（XRD）、原子力显微镜（AFM）、光栅光谱仪等技术研究了沉积温度对ZnO薄膜的结构、应力状态、表面形貌和发光性能的影响．研究结果表明，在射频功率为100W时所制备的ZnO薄膜当沉积温度为500℃时能获得最佳的c轴取向和最小半高宽，此时ZnO薄膜具有较小的压应力和较好的紫外发光性．
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| 关 键 词： | 磁控溅射 ZnO薄膜 沉积温度 光致发光 |
| 文章编号： | 1000-5811（2007）06-0066-03 |
| 收稿时间： | 2007-10-10 |
| 修稿时间： | 2007-10-10 |
INFLUENCE OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON THE MICROSTRUCTURE AND OPTICAL PROPERTIES FOR ZnO FILMS |
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| WANG Jing,YU Hua-wa. INFLUENCE OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON THE MICROSTRUCTURE AND OPTICAL PROPERTIES FOR ZnO FILMS[J]. Journal of Shaanxi University of Science & Technology(Natural Science Edition), 2007, 25(6): 66-68,72 |
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| Authors: | WANG Jing YU Hua-wa |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering ZnO thin films substrate temperature photoluminescence |
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