电子器件的新领域——电子束轰击半导体(EBS)器件

电子束轰击半导体器件,近年来有较大突破,出现了一批能与现有电真空器件、半导体器件相竞争的新型器件,从首批产品所显示的独特功能来看,以固体物理半导体技术和电真空技术为基础的结合型器件,有可能形成一种新的电子器件类别.本文评述EBS器件的基本原理,以及基于这种原理而发展的三类器件:功率器件、复杂功能器件和激光器件的研究动向、性能特点和应用领域.