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| 在SiO_2-C-N_2体系中SiO_2还原氮化机理分析 | |
| 作者姓名： | 李文超 王俭 庄又青 锺香崇 |
| 作者单位： | 北京科技大学，北京科技大学，北京科技大学，北京科技大学 兼职教授 |
| 摘 要： | 本文研究了SiO_2还原氮化的物理化学条件,分析结果表明:在SiO_2—C—N_2体系中Sio_(2(g))既可以直接还原又可以间接还原生成SiO_((g));SiO_(2(g))碳热还原氯化生成Si_3N_4的反应受扩散控制,满足下列方程:1-(1-α)1/3=kt |
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