| 多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统 |
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| 引用本文： | 刘祖韬,黄庆安,李伟华. 多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 427-429 |
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| 作者姓名： | 刘祖韬 黄庆安 李伟华 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404010) |
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| 摘 要： | 建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统.系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测试相兼容,即所有物理量的测试都转化为电学量的测量,整个测试过程完全由计算机控制完成.
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| 关 键 词： | 多晶硅 薄膜 材料参数 在线测试 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0427-03 |
| 修稿时间： | 2005-03-18 |
Measurement System for In Situ Extracting Material Parameters of Polysilicon Film |
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| Liu Zutao,Huang Qingan,Li Weihua. Measurement System for In Situ Extracting Material Parameters of Polysilicon Film[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 427-429 |
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| Authors: | Liu Zutao Huang Qingan Li Weihua |
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